ASTRO PLASMA

微波等离子系统优势

主要生产微波等离子清洗机、微波等离子去胶机

  • 无损伤

    主要依靠等离子体的化学作用于材料表面无物理轰击损伤

  • 高效率

    等离子体中电子密度更高各向同性支持全方位清洗

  • 无电极

    真空腔体内无电极拒绝腔体产品交叉污染且免维护

  • 无UV

    常见工业气体等离子辉光中无UV

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ASTRO PLASMA

微波等离子系统优势

主要生产微波等离子清洗机、微波等离子去胶机

  • 光刻胶的去除
  • 除浮渣/打底膜
  • SU-8/PI 去除
  • 牺牲层的释放
  • WB键合/塑封前的等离子清洗、活化
  • 各种材料的表面处理
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